Titlebook: Untersuchungen von Reinheitssytemen zur Herstellung von Halbleiterprodukten; Jochen Schlie?er Book 1999 Springer-Verlag, Berlin, Heidelber

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978-3-540-65560-2Springer-Verlag, Berlin, Heidelberg 1999

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Konzeption eines Integralen Reinheitssystems,Aus der Analyse l??t sich ableiten, da? die existierenden “Reinen” Produktionssysteme und ihre Komponenten als Basis für die Konzeption eines “Integralen” Reinheitssystems herangezogen werden k?nnen. Die “Reinen” Produktionssysteme sind in Bild 4.1 den Auswahlkriterien, unterteilt in Mu?- und Wunschanforderungen, gegenübergestellt und bewertet.

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Umsetzung und Erprobung an Praxisbeispielen,Im Rahmen der Neuentwicklung.werden die Komponenten zur str?mungstechnischen Auslegung von “Integralen” Reinheitssystemen auf ihre Praxistauglichkeit untersucht. Mit dem entwickelten Verfahren werden die realisierten “Integralen” Reinheitssysteme qualifiziert.

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Untersuchungen von Reinheitssytemen zur Herstellung von Halbleiterprodukten

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