Titlebook: Untersuchungen von Reinheitssytemen zur Herstellung von Halbleiterprodukten; Jochen Schlie?er Book 1999 Springer-Verlag, Berlin, Heidelber

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書目名稱Untersuchungen von Reinheitssytemen zur Herstellung von Halbleiterprodukten影響因子(影響力)

書目名稱Untersuchungen von Reinheitssytemen zur Herstellung von Halbleiterprodukten影響因子(影響力)學(xué)科排名

書目名稱Untersuchungen von Reinheitssytemen zur Herstellung von Halbleiterprodukten網(wǎng)絡(luò)公開度

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書目名稱Untersuchungen von Reinheitssytemen zur Herstellung von Halbleiterprodukten被引頻次

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書目名稱Untersuchungen von Reinheitssytemen zur Herstellung von Halbleiterprodukten年度引用

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書目名稱Untersuchungen von Reinheitssytemen zur Herstellung von Halbleiterprodukten讀者反饋

書目名稱Untersuchungen von Reinheitssytemen zur Herstellung von Halbleiterprodukten讀者反饋學(xué)科排名

只看該作者 · 發(fā)表于 2025-3-21 21:07:17

Stand der Technik,taminationskritischen Produkten erm?glicht wird. Zur Bereitstellung und Gew?hrleistung der proze?- und produktspezifischen Reinheitsanforderungen müssen die beteiligten Komponenten, sowohl einzeln als auch in ihrem Zusammenwirken, für jeden Produktionsschritt die Verunreinigungsgefahr in Produktn?he

只看該作者 · 發(fā)表于 2025-3-22 03:51:35

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只看該作者 · 發(fā)表于 2025-3-22 17:29:10

Einleitung,n, bei gleichzeitiger Zunahme der Anzahl an kontaminationskritischen Fertigungsschritten direkt an die unmittelbare Produktumgebung gestellt (Gath 1993, JESSI 1995, Kitajima 1997, Semiconductor 1997, SIA 1994).

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,Analyse von Produktionssystemen für “reine” Anwendungen und Ableitung von Entwicklungsschwerpunktennheitsanforderungen zur Verfügung zu stellen sowie die Kontinuit?t in der Versorgung zu gew?hrleisten. Bild 3.1 zeigt den Vergleich zwischen den eingesetzten Versorgungssystemen für die Medien Reinraumluft, Reinstgase und Reinstflüssigkeiten.

只看該作者 · 發(fā)表于 2025-3-23 04:36:40

Entwicklung eines Verfahrens zur Qualifizierung von Reinheitssystemen,1 die Auswirkungen der grundlegenden Komponenten des Qualifizierungsverfahrens sowie des zu qualifizierenden Prüflings “Reinheitssystem” auf die analysierten Bewertungskriterien einander gegenübergestellt.

只看該作者 · 發(fā)表于 2025-3-23 08:37:49

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