| 書目名稱 | Silizium-Halbleitertechnologie |
| 副標(biāo)題 | Grundlagen mikroelek |
| 編輯 | Ulrich Hilleringmann |
| 視頻video | http://file.papertrans.cn/868/867364/867364.mp4 |
| 概述 | Umfassende Darstellung der Fertigungsverfahren bei der Herstellung mikroelektronischer Schaltungen.Fertigungsverfahren und Technologien in der Mikroelektronik.Aktuelle Verfahren der mikroelektronische |
| 圖書封面 |  |
| 描述 | Grundlage der mikroelektronischen Integrationstechnik ist die Silizium-Halbleitertechnologie. Sie setzt sich aus einer Vielzahl von sich wiederholenden Einzelprozessen zusammen, deren Durchführung und apparative Ausstattung extremen Anforderungen genügen müssen, um die geforderten Strukturgr??en bis zu wenigen 10 nm gleichm??ig und reproduzierbar zu erzeugen. Das Zusammenspiel der Oxidationen, ?tzschritte und Implantationen zur Herstellung von MOS- und Bipolarschaltungen werden - ausgehend vom Rohsilizium bis zur gekapselten integrierten Schaltung - aus Sicht des Anwenders erl?utert. Das Lehrbuch behandelt neben den Grundlagen auch die technische Durchführung der Einzelprozesse zur Integrationstechnik. |
| 出版日期 | Textbook 20146th edition |
| 關(guān)鍵詞 | 10 nm; Anforderung; Anwender; Atomic; Ausstattungen; Bipolar-Technologie; Bipolarschaltung; Bipolartechnik; |
| 版次 | 6 |
| doi | https://doi.org/10.1007/978-3-8348-2085-3 |
| isbn_ebook | 978-3-8348-2085-3 |
| copyright | Springer Fachmedien Wiesbaden 2014 |