| 書(shū)目名稱(chēng) | Technologie hochintegrierter Schaltungen | | 編輯 | Dietrich Widmann,Hermann Mader,Hans Friedrich | | 視頻video | http://file.papertrans.cn/903/902204/902204.mp4 | | 叢書(shū)名稱(chēng) | Halbleiter-Elektronik | | 圖書(shū)封面 |  | | 描述 | Im vorliegenden Buch wird die Technologie von hochintegrierten Schaltungen behandelt. Es werden zun?chst sehr ausführlich und praxisnah die verschiedenen technologischen Verfahren und Einzelprozesse aus den Bereichen Lithographie, Schicht-, ?tz- und Dotiertechnik beschrieben. Danach folgen Beispiele für die Integration der Einzelprozesse zur Herstellung von CMOS-, Bipolar- und BICMOS-Schaltungen. Sowohl die Einzelprozesse als auch die Proze?integration sind anschaulich mit zahlreichen Bildern dargestellt. Das Buch vermittelt nicht nur eine gute übersicht, sondern auch sehr detaillierte Informationen über den modernsten Stand der Technologie hochintegrierter Schaltungen, wie sie z.B. bei der Herstellung des dynamischen IMEGA-Bit-Speichers Anwendung findet. Darüber hinausgehende Entwicklungen, die in den Sub-Mikrometer-Bereich führen, werden ebenfalls beschrieben. | | 出版日期 | Book 19881st edition | | 關(guān)鍵詞 | CMOS; Mikrometer; Schaltung; Strukturgr??e; Werkstoff | | 版次 | 1 | | doi | https://doi.org/10.1007/978-3-642-97059-7 | | isbn_ebook | 978-3-642-97059-7Series ISSN 0172-5882 | | issn_series | 0172-5882 | | copyright | Springer-Verlag Berlin, Heidelberg 1988 |
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