Titlebook: Niederdruckplasmen und Mikrostrukturtechnik; Gerhard Franz Book 2004Latest edition Springer-Verlag Berlin Heidelberg 2004 Energie.Gleichst

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Plasma-Diagnostik,Die hier vorgestellten Plasmen sind analytisch in vielfacher Weise zug?nglich,um die das Plasma bestimmenden Parameter

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Gerhard FranzEinzige und unersetzbare Quelle ?er die Eigenschaften und den Einsatz von Niederdruckplasmen.Niederdruckplasmen sind relevante Instrumente f? Herstellungsverfahren in der Photonik und Elektronik

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https://doi.org/10.1007/978-3-642-18769-8Energie; Gleichstrom; Halbleiter; Mikroelektronik; Mikrotechnologie; Optik; Plasmaphysik; Simulation; Spektr

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