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Monika Schaubund der w??rigen L?sungen ist ein Arbeitsgebiet, das ich von meinem akademischen Lehrer . übernahm und bei dem ich mich bemühte, es nach seinem Tode weiterzuführen. Dabei hatte ich das Glück, sehr tüchtige jüngere Mitarbeiter zu finden. Aus der Anfangszeit ist vor allem . zu nennen, der aus diesem K

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https://doi.org/10.1007/978-3-658-00694-5In Chaps. 1 to 3, we already learned the principles together with technological issue specific to MOS ULSI devices. Now, we shall come to appreciate more clearly how important the inherent advantages of a thermally grown silicon oxide. are for MOS devices, namely,

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