| 書目名稱 | Mikrosystemtechnik | | 副標(biāo)題 | Prozessschritte, Tec | | 編輯 | Ulrich Hilleringmann | | 視頻video | http://file.papertrans.cn/635/634118/634118.mp4 | | 概述 | Mikroelektronik, Mikromechanik, Mikrooptik, Sensoren und Aktuatoren - Bausteine der Mikrosystemtechnik | | 圖書封面 |  | | 描述 | Dieses Lehr- und Nachschlagebuch erl?utert die grundlegenden Prozessschritte der Mikrotechnologien für Elektronik, Mechanik und Optik. Darauf aufbauend folgen die Verknüpfungen der Einzelprozesse zur Mikrosystemtechnik. Die m?glichen Schnittstellen Mechanik/Elektronik, Optik/Elektronik und Optik/Mechanik werden anhand konkreter mikrosystemtechnischer Bauelemente vorgestellt. Die jeweiligen Vorteile der Oberfl?chenmikromechanik und der Bulk-Mikromechanik werden anhand der erforderlichen Prozesstechnik zur Integration mikrosystemtechnischer Sensoren und Aktoren diskutiert und bezüglich ihrer Kompatibilit?t zur Mikroelektronik bewertet. | | 出版日期 | Textbook 2006 | | 關(guān)鍵詞 | Berechnung; BranchenIndex Online; Elektronik; Fachinformatiker; Ingenieurstudium; Mikrosystem (MEMS); Mikr | | 版次 | 1 | | doi | https://doi.org/10.1007/978-3-8351-9022-1 | | isbn_softcover | 978-3-8351-0003-9 | | isbn_ebook | 978-3-8351-9022-1 | | copyright | Vieweg+Teubner Verlag | Springer Fachmedien Wiesbaden GmbH, Wiesbaden 2006 |
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