Titlebook: Methodology for the Modeling and Simulation of Microsystems; Bartlomiej F. Romanowicz Book 1998 Kluwer Academic Publishers 1998 Sensor.Sta

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Methodology for the Modeling and Simulation of Microsystems

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Conclusions, (MEMS devices together with electronics) simulation levels, which has been identified as a key requirement in the field [5], owing to the strong interaction between miniaturized physical transducers and electronics. Linearization and compensation techniques are required for many sensors where a tra

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