Titlebook: MEMS in der Mikrosystemtechnik; Aufbau, Wirkprinzipi Markus Glück Textbook 2005 Springer Fachmedien Wiesbaden 2005 ATZ elektronik.Berechnun

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Pillory

墊子

,Systemintegration und Datenübertragung,L?ngst hat sich die Mikrosensorik gewandelt — vom reinen . der Anfangszeit über die Aufgabenstellungen der Mess- und Regeltechnik und der Automatisierungstechnik hin zu Mikro-Elektro-Mechanischen . und der hierfür unabdingbaren zuverl?ssigen . der dezentralen Systeme und Einzelkomponenten.

象形文字

Energieversorgung,Die Versorgung von immer kleineren Mikro-Elektro-Mechanischen Sensorsystemen (MEMS) mit elektrischer Energie besch?ftigt zunehmend die Entwicklung und das Design der mikrosystemtechnischen Produkte und erfordert neue Ans?tze bis hin zu energieautarken Mikrosystemen.

ORBIT

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s aus und helfen Autofahrern beim Einparken. Mit ihnen bestimmen Mediziner den Sauerstoffgehalt im Blut. In Spül- und Waschmaschinen stellen sie den Verschmutzungs- und H?rtegrad des Wassers fest. Sie sorgen dafür, dass winzige elektronische Bauteile auf den tausendsten Millimeter genau auf Leiter-

refraction

,Einführung,u ?erfahren“. Es gilt auch die inneren Zust?nde eines komplexen Systems fortlaufend zu überwachen und gelegentlich regelnd einzugreifen. So überprüfen beispielsweise Chemosensoren den Sauerstoffgehalt im Gehirn, Dehnungsrezeptoren in Muskelgeweben registrieren deren Spannungszustand, etc.

beta-cells

Verfahren der MEMS Fertigung,erte Systeme herzustellen, die in geeigneter Weise Bewegungen, Ger?usche, Lichtreize, Geruchsstoffe und Farbver?nderungen aufnehmen und sogar in der Lage sind, darauf in entsprechend geeigneter Weise zu reagieren.

TSH582

Grundlagen,ll verzichtet wird, sofern diese nicht sp?ter noch gebraucht werden. Hierbei sei auf einschl?gige Fachliteratur der allgemeinen Sensorik, Festk?rperphysik und Werkstoffkunde verwiesen [3,23,29,30,32,43,53,71,74].

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