Titlebook: Kalte Plasmen; Grundlagen, Erschein Gerhard Franz Book 19901st edition Springer-Verlag Berlin Heidelberg 1990 Energie.Glimmentladungen.Ober

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書目名稱Kalte Plasmen影響因子(影響力)

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書目名稱Kalte Plasmen被引頻次

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書目名稱Kalte Plasmen年度引用

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書目名稱Kalte Plasmen讀者反饋

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Springer-Verlag Berlin Heidelberg 1990

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https://doi.org/10.1007/978-3-662-08045-0Energie; Glimmentladungen; Oberfl?chenbehandlung; Plasmaphysik; Plasmatechnik; Streuung; Umwelt; Verfahren

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,?tzmechanismen,Sie sind weitgehend ungekl?rt, noch am besten untersucht am System Si/SiO. mit dem ?tzgas CF. (Heinecke 1978, Schwartz et al. 1979, Flamm (1979)). Die flüchtige Komponente ist SiF.. Da diese beim ?tzproze? entsteht, wurde auch vom “Plasma Assisted Chemical Vapour Transport”, PACVT, gesprochen (Zarowin 1984).

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