Titlebook: Halbleiter-Technologie; Ingolf Ruge,Hermann Mader Textbook 1991Latest edition Springer-Verlag Berlin Heidelberg 1991 Dotierung.Elektronik.

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Mikromechanik,elektronik zuzurechnen sind, herzustellen. Dabei wird insbesondere die sehr weit entwickelte Siliziumtechnologie genutzt, die sich u.a. durch hohe Integrationsdichte, hohen Grad an Strukturfeinheit und kostengünstige Fertigung auszeichnet.

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https://doi.org/10.1007/978-3-642-67347-4 beschrieben, wobei die den Einkristall bildenden Atome, Ionen oder Moleküle entlang einer Koordinatenachse in einer periodischen Anordnung Punkte, die sog. Gitterpunkte, besetzen. Die Abst?nde zwischen diesen regelm??ig angeordneten Atomen werden als Gitterperiode oder Gitterabstand (Gitterkonstante) bezeichnet.

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Der ideale Einkristall, beschrieben, wobei die den Einkristall bildenden Atome, Ionen oder Moleküle entlang einer Koordinatenachse in einer periodischen Anordnung Punkte, die sog. Gitterpunkte, besetzen. Die Abst?nde zwischen diesen regelm??ig angeordneten Atomen werden als Gitterperiode oder Gitterabstand (Gitterkonstante) bezeichnet.

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