SCIE期刊MATERIALS SCIENCE IN SEMICONDUCTOR PROCESSING 2024/2025影響因子:4.242 (MAT SCI SEMICON PROC) (1369-8001). (PHYSICS, C

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Submitted on: 29 August 2005. Revised on: 14 September 2005. Accepted on: 23 September 2005. MATERIALS SCIENCE IN SEMICONDUCTOR PROCESSING

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