SCIE期刊MATERIALS SCIENCE IN SEMICONDUCTOR PROCESSING 2024/2025影響因子:4.242 (MAT SCI SEMICON PROC) (1369-8001). (PHYSICS, A

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Submitted on: 12 January 2010. Revised on: 29 January 2010. Accepted on: 17 February 2010. MATERIALS SCIENCE IN SEMICONDUCTOR PROCESSING

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