Titlebook: Angewandte Laserchemie; Verfahren und Anwend Herbert Stafast Book 1993 Springer-Verlag Berlin Heidelberg 1993 Chemie.Entwicklung.Fortschrit

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,Laserchemische Abscheidung von Festk?rpern aus der Gasphase,en der Gasphasenabscheidung zeigen, geh?rt das Silizium. Ausgehend von Siliziumwasserstoffen ist es m?glich, Siliziumpulver sowie amorphe und kristalline Siliziumschichten zu erzeugen. Daher bietet sich neben anderen das Siliziumwasserstoffsystem für direkte Verfahrensvergleiche an.

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