SCIE期刊IEEE TRANSACTIONS ON SEMICONDUCTOR MANUFACTURING 2024/2025影響因子:2.332 (IEEE T SEMICONDUCT M) (0894-6507). (ENGINEE

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Submitted on: 11 October 2000. Revised on: 01 February 2001. Accepted on: 23 March 2001. ___________________IEEE TRANSACTIONS ON SEMICONDUCTOR MANUFACTURING

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